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崗位職責

1. 射頻電源系統(tǒng)架構設計：

負責半導體級射頻電源（典型頻率 13.56MHz， 27MHz， 40MHz，60MHz 等）的整體系統(tǒng)架構設計，包括功率級拓撲（如 Class D, E, F, 或 LLC 等）、匹配網(wǎng)絡設計、控制回路架構等。

深入理解并優(yōu)化射頻電源在復雜等離子體負載下的動態(tài)響應特性、穩(wěn)定性、效率及輸出精度（功率/電壓/電流）。

定義關鍵性能指標（KPIs）如功率穩(wěn)定性、頻率精度、諧波失真、效率、可靠性等，并主導實現(xiàn)方案。

2. 核心算法研究與開發(fā)： 設計、開發(fā)并優(yōu)化射頻電源的核心控制算法，包括但不限于：

高級阻抗匹配算法 (自動匹配網(wǎng)絡調(diào)諧)。

高精度、高速的功率/電壓/電流閉環(huán)控制算法 (如自適應 PID、模型預測控制 MPC 等)。

等離子體狀態(tài)監(jiān)測與診斷算法(如 V/I 相位檢測、諧波分析、穩(wěn)定性監(jiān)控)。

抗干擾算法及故障保護策略。

負責算法的仿真（如 MATLAB/Simulink, PLECS）

3. 技術領導與項目管理：

組建、領導和管理射頻電源研發(fā)技術團隊，明確技術路線，分配任務，指導團隊成員工作。

主導射頻電源相關研發(fā)項目的規(guī)劃、執(zhí)行、風險管控與交付，確保項目按時按質(zhì)達成目標。

負責關鍵技術難題的攻關與解決。

4. 跨部門協(xié)作與產(chǎn)品化：

與硬件（功率器件、高頻磁元件、PCB 設計）、軟件（嵌入式、上位機）、工藝應用等團隊

緊密協(xié)作，確保系統(tǒng)設計與算法方案的工程可實現(xiàn)性及與半導體工藝需求的完美匹配。

主導或深度參與射頻電源樣機的設計、調(diào)試、測試驗證（實驗室及客戶端現(xiàn)場）。

5.支持產(chǎn)品轉(zhuǎn)產(chǎn)，解決量產(chǎn)過程中的技術問題。



任職要求

1.電子工程、微電子等相關專業(yè)碩士及以上學歷。

2.碩士 5 年以上射頻電源研發(fā)經(jīng)驗，深刻理解射頻功率放大器、匹配網(wǎng)絡原理及設計。

3.精通半導體制造設備（如刻蝕機、PVD、CVD、離子注入等）中射頻電源的應用場景、技

術挑戰(zhàn)及性能要求。

4.豐富的射頻電源系統(tǒng)架構設計經(jīng)驗，能獨立完成從規(guī)格定義到架構選型、關鍵參數(shù)設計。

5.在射頻電源核心控制算法（如阻抗匹配、高精度功率控制、穩(wěn)定性控制）方面有成功的設計、實現(xiàn)與優(yōu)化經(jīng)驗。熟練掌握相關仿真工具。

6. .深入理解高頻功率器件、高頻磁元件（變壓器、電感）、射頻測量技術。

7. 有國內(nèi)外射頻電源供應商（如 MKS, AE，英杰，廣能達）相關工作經(jīng)驗者優(yōu)先。

8. 在等離子體物理或等離子體與射頻功率耦合、射頻電源方面有深入研究或經(jīng)驗者優(yōu)先。

9. 年齡：45以內(nèi)