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1、承擔光刻機減振方案設計等相關工作;
2、對光刻機減振系統(tǒng)展開多剛體結(jié)構(gòu)建模、執(zhí)行器系統(tǒng)建模、測量系統(tǒng)建模、控制系統(tǒng)建模，多軸復雜系統(tǒng)控制策略設計仿真分析工作;
3、對減振系統(tǒng)關鍵器件進行選型及設計工作，如減振器、伺服閥、傳感器、支撐結(jié)構(gòu)等;
4、對光刻機的振動故障進行診斷，定位故障源，并根據(jù)振源的實際情況設計相應的方案，衰減機械結(jié)構(gòu)的振動;
5、讀書/工作期間參與過精密設備減振開發(fā)工作者優(yōu)先。
崗位要求
1、機械工程、機電一體化等相關專業(yè)，博士學歷;
2、熟練掌握機械振動與控制相關的理論，以及常用的振動信號處理方法，至少熟悉一種振動測試設備;
3、熟悉MATLAB、Simulink等軟件;
4、熟悉機械原理，能看懂機械圖紙;
5、良好的英文能力，能快速閱讀英文技術(shù)文獻。