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資深光刻工藝工程師

1.5-2.5萬·13薪
  • 嘉興海寧市
  • 3-5年
  • 碩士
  • 全職
  • 招1人

職位描述

光刻工藝電子/半導(dǎo)體/集成電路
(一)崗位職責(zé):
1. 光刻工藝維護(hù)與優(yōu)化:
· 負(fù)責(zé)佳能(Canon) 和尼康(Nikon) 等品牌光刻機的日常工藝監(jiān)控、維護(hù)及優(yōu)化,確保機臺處于最佳工作狀態(tài)。
· 監(jiān)控光刻關(guān)鍵工藝參數(shù)(如CD、OVL、Defect等),分析工藝數(shù)據(jù)波動,及時實施改進(jìn)措施,確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。
· 主導(dǎo)或參與光刻工藝配方的建立、調(diào)試和優(yōu)化,包括但不限于曝光劑量、焦距、顯影條件等。
2. 生產(chǎn)技術(shù)問題解決:
· 快速診斷并解決生產(chǎn)線遇到的各種光刻相關(guān)異常和難題(如缺陷、對準(zhǔn)偏差、線寬不均等)。
· 處理機臺宕機等緊急狀況,協(xié)同設(shè)備工程師快速恢復(fù)生產(chǎn)。
3. 新產(chǎn)品與工藝開發(fā):
· 支持研發(fā)部門進(jìn)行新產(chǎn)品的光刻工藝開發(fā)與驗證,負(fù)責(zé)從研發(fā)到量產(chǎn)的光刻工藝轉(zhuǎn)移。
· 參與新工藝、新材料的評估和導(dǎo)入,完成相關(guān)DOE實驗設(shè)計及數(shù)據(jù)總結(jié)。
4. 技術(shù)文檔與標(biāo)準(zhǔn)化:
· 編寫和更新光刻工藝操作指導(dǎo)書(SOP)、設(shè)備操作規(guī)范、工藝控制計劃(Control Plan)等關(guān)鍵技術(shù)文檔。
· 建立和完善光刻工藝的知識庫,沉淀技術(shù)經(jīng)驗。
(二)任職要求:
1.碩士及以上學(xué)歷,微電子、半導(dǎo)體物理、材料、光電、等相關(guān)工程專業(yè)。具備3-5年及以上半導(dǎo)體晶圓制造廠光刻工藝工程師經(jīng)驗。
2.擁有豐富的佳能(Canon)和尼康(Nikon)光刻機實際操作與工藝維護(hù)經(jīng)驗,熟悉其系統(tǒng)架構(gòu)和軟件操作。
3.理解光刻工藝原理,熟悉黃光區(qū)整體流程(涂膠、曝光、顯影、量測等)。具備強大的數(shù)據(jù)分析能力,能熟練使用相關(guān)軟件(如JMP, Minitab等)進(jìn)行SPC分析和DOE實驗設(shè)計。
4.具備獨立解決復(fù)雜工藝問題的能力,思維清晰,有強烈的責(zé)任心和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。良好的團隊溝通和協(xié)作能力。
5.優(yōu)先考慮有化合物半導(dǎo)體(如GaAs, InP)或MEMS光刻工藝經(jīng)驗者優(yōu)先。有新產(chǎn)線建設(shè)、新機臺裝機(Installation)與調(diào)試(Commissioning)經(jīng)驗者優(yōu)先。

工作地點

嘉興海寧市海寧立昂東芯微電子有限公司-北門

職位發(fā)布者

孟女士/人事專員

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